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產品資料
Auto500GB
簡介：

Auto500GB是專門設計用于手套箱集成使用的鍍膜設備，滿足氧氣或水汽敏感的材料鍍膜的應用要求。該系統配了一個特殊結構的真空腔室，可直接與市場上大多數手套箱集成到一起。可以進行電子束蒸發，熱阻蒸發等物**相沉積鍍膜。系統配置可選擇多種腔室尺寸和工藝附件，以符合用戶需求。
產品詳情
真空腔室的前門可豎直滑動開關，嵌入手套箱內，并占用很少的手套箱空間；其后門是鉸鏈扇式開關，能在不影響手套箱內氣氛的情況下輕松維護腔室內工藝組件。
 

鍍膜源選項包括熱阻蒸發源、精密控溫的有機蒸發源、磁控濺射源以及電子束蒸發源。





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